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白光干涉仪是什么?

发布时间:2020-07-01 13:40 作者:欧冠竞猜

  白光干涉仪是什么?_物理_自然科学_专业资料。白光干涉仪是什么? 白光干涉仪是一种光学轮廓仪,是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的 检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密 Z 向扫描模块、3D 建模算法等对器件表 面进行非接

  白光干涉仪是什么? 白光干涉仪是一种光学轮廓仪,是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的 检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密 Z 向扫描模块、3D 建模算法等对器件表 面进行非接触式扫描并建立表面 3D 图像,通过系统软件对器件表面 3D 图像进行数据处理 与分析,并获取反映器件表面质量的 2D、3D 参数,从而实现器件表面形貌 3D 测量的光学 检测仪器。 白光干涉仪的功能非常强大! 1) 一体化操作的测量与分析软件,操作无须进行切换界面,预先设置好配置参数再进行测 量,软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能,即可快速实现批量测量功能。 2) 测量中提供自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能。 3) 测量中提供拼接测量功能。 4) 分析中提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能,其中调整位置包括 图像校平、镜像等功能;纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能;滤波包括去除外形、 标准滤波、过滤频谱等功能;提取包括提取区域和提取剖面等功能。 5) 分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功 能,其中粗糙度分析包括依据国际标准的 ISO4287 的线 平整度等全参数分析功能;几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征 测量和直线度、圆度形位公差评定等功能;结构分析包括孔洞体积和波谷深度等;频率分析 包括纹理方向和频谱分析等功能;功能分析包括 SK 参数和体积参数等功能。 6) 分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能,设置分析模板,结合测量中提 供的自动测量和批量测量功能,可实现对小尺寸精密器件的批量测量并直接获取分析数据的 功能。 白光干涉仪应用非常广泛! 可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C 电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳 材料及制造、汽车零部件、MEMS 器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院 所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级 别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据 ISO/ASME/EUR/GBT 四大 国内外标准共计 300 余种 2D、3D 参数作为评价标准。 2


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